粗糙度 部分

Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr

轮廓仪 部分

点、直线、圆、部分圆、椭圆、圆弧处理（圆弧半径、圆心距、圆心到直线的距离、交点到圆心的距离等）、最高点、最低点、距离、角度处理（坐标夹角、直线夹角）、直线度、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、水平距、凸度（对数曲线）、轮廓度等参数

粗糙度 测量范围

X轴

RA：0.005μm—16.00μm

Z1轴

±20μm、±40μm、±80μm

取 样 长 度 L

0.25mm、0.80mm、2.50mm、自动

评 定 长 度

1L—5L(可选 L为取样长度)

测量行程长度

3L—7L(可选 L为取样长度)

轮廓仪 测量范围

X轴（横导轨）

100mm

Z1轴（传感器）

40mm

Z轴（立柱）

400mm

粗糙度 测量精度

示值误差 1

0.001μm

示值误差 2

≤±7％

轮廓仪 测量精度

X轴

(L=X轴导轨移动距离)

±(1.2+L/300)μm

Z1轴

(H=Z1轴方向测量高度)

±(1+2H/100)μm

X轴水平臂

直线度

1μm/100mm

光栅分辨率

0.1μm

光栅产地

进口